中國科學院微電子研究所的前身——原中國科學院109廠成立于1958年。1986年，109廠與中國科學院半導體研究所、計算技術研究所有關研制大規模集成電路部分合并為中國科學院微電子中心。2003年9月，正式更名為中國科學院微電子研究所。微電子所的戰略定位是：中國微電子技術創新的引領者和產業發展的推動者。微電子所堅持“三個面向”“四個率先”的新時期辦院方針，在集成電路先導技術、微電子器件與集成技術、物聯網核心技術與應用、科教融合微電子學院建設等方面重點推進。現擁有2個基礎研究類中國科學院重點實驗室（微電子器件與集成技術重點實驗室、硅器件技術重點實驗室），6個行業服務類研發中心（中國科學院EDA中心、集成電路先導技術研發中心、系統封裝與集成研發中心、中科新芯三維存儲器研發中心、電磁信息智能應用研究中心、光刻技術總體部），6個行業應用類研發中心（通信與信息工程研發中心、新能源汽車電子研發中心、健康電子研發中心、智能感知研發中心、智能制造電子研發中心、智能電子系統研發中心），4個核心產品類研發中心（硅器件與集成研發中心、高頻高壓器件與集成研發中心、微電子儀器設備研發中心、光電技術研發中心）。